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电子半导体行业工艺过程的风速检测

电子半导体晶圆厂的工艺产生过程中会产生很多种废气，主要有： 

  1. 干法蚀刻/ 湿法蚀刻（工艺产生的酸性废气（Acidic Exhaust）

  2. 化学机械抛光工艺产生产的碱性废气（Alkaline Exhaust） 

  3. 光刻工艺产生的有机废气（VOCs） 

  4. 离子注入工艺产生的剧毒废气（Toxic Gas）

  5. 物理气相沉积工艺产生的颗粒物废气（Particulate）

  6. 扩散炉工艺产生的 易燃易爆废气（Flammable Gas）

  7. 等离子体蚀刻工艺产生的特殊气体处理（如PFCs） 

实时监测这些废气的处理与排放，成为环保过程中的重要环节，我司生产的耐高温风速仪、耐粉尘风速仪、耐污染风速仪以及防爆风速仪在环保设备中充当监测风速数值的角色，在保证耐受各种化学腐蚀以及粉尘污染物的前提下，保证风速数值的准确性、真实性以及长期稳定性。

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